نجحت شركة شنيانغ ستارلايت أدفانسد سيراميكس في تسليم قوارب ثلاثية الأعمدة من كربيد السيليكون مقاس 8 بوصات لمعالجة رقائق أشباه الموصلات

حققت شركة شنيانغ ستارلايت أدفانسد سيراميكس المحدودة، الشركة الرائدة في تصنيع منتجات كربيد السيليكون بخبرة تزيد عن 30 عامًا في الصناعة، إنجازًا مهمًا مؤخرًا من خلال تطوير وتسليم قوارب كربيد السيليكون المتخصصة ثلاثية الأعمدة مقاس 8 بوصات بنجاح لتطبيقات المعالجة الحرارية لرقائق أشباه الموصلات.

إنجاز كبير في تكنولوجيا معالجة الرقاقات

تم تطويره حديثًا بقياس 8 بوصاتكربيد السيليكونتمثل القوارب ذات الثلاثة أعمدة تقدمًا كبيرًا في تكنولوجيا التعامل مع الرقاقات، وهي مصممة خصيصًا لـ:

• معالجة درجات الحرارة العالية لرقائق أشباه الموصلات مقاس 200 مم

• التوزيع الحراري الموحد أثناء خطوات التصنيع الحرجة

• تقليل مخاطر التلوث في بيئات الغرف النظيفة

التفوق التقني

تتميز هذه القوارب المصممة بدقة بالميزات التالية:

• نقاء عالي جدًاكربيد السيليكونمادة (نقاء 99.99٪)

• تصميم ثلاثي الأعمدة مُحسَّن للحد الأدنى من اتصال الرقاقة

• مقاومة استثنائية للصدمات الحرارية (تتحمل التغيرات السريعة في درجات الحرارة حتى 1400 درجة مئوية)

• خمول كيميائي فائق ضد غازات العمليات المسببة للتآكل

تلبية متطلبات الصناعة

دي دي اتش لدينا 8 بوصةكربيد السيليكونقال الدكتور لي، كبير مسؤولي التكنولوجيا، إن القوارب ثلاثية الأعمدة تلبي الحاجة المتزايدة لصناعة أشباه الموصلات لحاملات رقائق موثوقة وعالية الأداء. كما أنها توفر مزايا كبيرة مقارنة بحاملات الكوارتز التقليدية، بما في ذلك عمر خدمة أطول واستقرار حراري أفضل.

عملية تطوير صارمة

شمل تطوير المنتج:

• 18 شهرًا من البحث والتطوير المكثف

• التعاون مع الشركات الرائدة في تصنيع أشباه الموصلات

• أكثر من 200 اختبار دورة حرارية

• إجراءات صارمة لمكافحة تلوث الجسيمات

ضمان الجودة

تخضع كل وحدة إلى:

• التحقق من دقة الأبعاد (التسامح ± 0.02 مم)

• اختبار خشونة السطح (را < 0.2μm)

• الفحص البصري الشامل

• التنظيف النهائي والتغليف في غرفة نظيفة من الفئة 100

التطبيقات

يتم استخدام القوارب حاليًا من أجل:

• عمليات الانتشار

• معالجات التلدين

• عمليات الأكسدة

• تطبيقات الترسيب الكيميائي للبخار

التطورات المستقبلية

وبناءً على هذا النجاح، تعمل شركة شنيانغ ستارلايت الآن على تطوير:

• إصدار 12 بوصة لأحجام رقائق الجيل التالي

• تصميمات مخصصة لمتطلبات عملية محددة

• طلاءات متقدمة للتطبيقات المتخصصة

التزام الشركة

وأضاف الدكتور لي: "بصفتنا شركة تتمتع بثلاثة عقود من الخبرة في مجال السيراميك، فإننا نلتزم بتجاوز حدود تكنولوجيا مواد أشباه الموصلات". ويُظهر إطلاق هذا المنتج قدرتنا على تطوير حلول تلبي المتطلبات الأكثر إلحاحًا في الصناعة.