حققت شركة شنيانغ ستارلايت أدفانسد سيراميكس إنجازًا بارزًا في تصنيع أشباه الموصلات باستخدام أنابيب بطانة دقيقة بقطر خارجي 451 مم لمعالجة الرقاقات مقاس 12 بوصة

حققت شركة شنيانغ ستارلايت للسيراميك المتقدمة المحدودة، الرائدة في تصنيع كربيد السيليكون بخبرة تزيد عن ثلاثة عقود، إنجازًا هامًا مؤخرًا بتوريد أنابيب بطانة متخصصة بقطر خارجي 451 مم لعمليات تصنيع رقائق أشباه الموصلات بقياس 12 بوصة. يؤكد هذا الإنجاز ريادة الشركة في تطوير المكونات الخزفية الأساسية لصناعة أشباه الموصلات العالمية. تتميز أنابيب البطانة المطورة حديثًا، والمصممة خصيصًا لتطبيقات معالجة الرقائق في درجات حرارة عالية، بقطر خارجي مُحسّن للشفة يبلغ 451 مم، مصمم لتلبية المتطلبات الصارمة لمعدات تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة. باستخدام كربيد السيليكون فائق النقاء (≥99.999%) مع ثبات حراري استثنائي (نطاق التشغيل: من درجة حرارة محيطة إلى 1450 درجة مئوية)، هذه الأنابيب...أنابيب البطانة تضمن المكونات تمددًا حراريًا ضئيلًا (معامل 4.0×10⁻⁶/K) ومقاومة فائقة لغازات العمليات المسببة للتآكل، مما يُمكّن من أداء ثابت في عمليات الأكسدة والانتشار والترسيب الكيميائي للبخار (أمراض القلب والأوعية الدموية). تضمن هندسة أنابيب البطانة الدقيقة تفاوتات أبعادية في حدود ±0.05 مم وخشونة سطح أقل من 0.1 ميكرومتر من را، وهو أمر بالغ الأهمية للحفاظ على سلامة الرقاقة وتقليل مخاطر تلوث الجسيمات في بيئات الغرف النظيفة.

ال أنابيب البطانةتضمنت عملية التطوير 18 شهرًا من التعاون البحثي والتطويري الدقيق مع أبرز مصنعي أشباه الموصلات، مع دمج تحليل العناصر المحدودة المتقدم (تحليل العناصر المحدودة) لتحسين ديناميكيات تدفق الغاز والتوزيع الحراري عبر القطر الداخلي البالغ 300 مم. وقد أثبت أكثر من 500 اختبار للدورة الحرارية صحة هذا المنتج.أنابيب البطانة"المتانة في ظل التقلبات السريعة في درجات الحرارة، في حين تضمن تقنيات التلبيد الخاصةأنابيب البطانة سلامة هيكلية في درجات حرارة قصوى. يتم الإنتاج في غرف نظيفة وفقًا لمعايير ايزو من الفئة 5، حيث تخضع كل وحدة لفحص شامل أنابيب البطانةفحوصات الجودة، بما في ذلك اختبار تسرب الهيليوم، وتحليل الغاز المتبقي (آر جي إيه)، والتحقق من القياسات باستخدام ماسحات الليزر وآلات قياس الإحداثيات (آلات قياس الإحداثيات). وقد أفاد أوائل المستخدمين في إنتاج الرقائق المنطقية والذاكرة المتقدمة بانخفاض في توقف الفرن بنسبة 35%، وتحسن في إنتاجية الرقاقة بنسبة 20% مقارنةً ببطانات الكوارتز التقليدية، ويعزى ذلك إلى الخمول الكيميائي المتأصل في المادة وانخفاض متطلبات الصيانة.

هذا أنابيب البطانةيُلبي الابتكار الطلب المتزايد في صناعة أشباه الموصلات على أحجام رقائق أكبر ودرجة اتساق أعلى في العمليات، لا سيما مع انتقال المُصنِّعين إلى عُقد أقل من 5 نانومتر. يُتيح تصميم القطر الخارجي 451 مم تكاملاً سلسًا مع أفران الجيل التالي العمودية، بينما تمنع مستويات الشوائب المعدنية المنخفضة للغاية في المادة (<0.1 جزء في المليار) تلوث المواد المُشابِبة في العمليات الحساسة. بالإضافة إلى التطبيقات الحالية، تعمل شركة شنيانغ ستارلايت بنشاط على تطوير حلول ذكية.أنابيب البطانةنماذج أولية مزودة بأجهزة استشعار مدمجة لمراقبة درجة الحرارة في الوقت الفعلي وأنظمة إدارة حرارية متكيفة متوافقة مع أنظمة التصنيع الصناعية 4.0.

بفضل إرثها الممتد على مدار 30 عامًا وأكثر من 2000 شراكة ناجحة مع العملاء، تواصل شركة شنيانغ ستارلايت قيادة الابتكار في مجال السيراميك عالي الأداء، من خلال الجمع بين التميز في علم المواد والهندسة الدقيقة لحل أكثر التحديات تعقيدًا في صناعة أشباه الموصلات.